CKD(喜开理)AMDZ1-6-2,这是一款基础型化学液体用气控阀,属于 AMDZ 超小型 2 通阀系列。
它主要用于半导体、液晶生产等需要高洁净度化学液体控制的场景,核心优势是采用氟树脂阀体与 PTFE 膜片,实现无金属接触的耐腐蚀密封。
参数项规格数据
产品系列AMDZ 系列(2 通阀,超小型)
使用流体化学液体、纯水、
N
2
N
2
气体、空气(注意:标准型不可用于酸性流体)
流体温度5 ~ 80℃
耐压力1.0 MPa
使用压力 (A→B)0 ~ 0.5 MPa
使用压力 (B→A)0 ~ 0.3 MPa
背压0 ~ 0.3 MPa
阀座泄漏0(水压条件下)
节流孔径约 Ø2 mm(AMDZ*2 系列数据)
Cv 值0.08(PFA 阀体,Rc1/8 连接时约为 0.12)
连接方式根据型号“6"推断,涉及 Rc1/8 或 Ø3/Ø6 管接头(具体需核对实物铭牌)
操作压力NC/NO:0.3 ~ 0.5 MPa;双作用:0.2 ~ 0.3 MPa
操作气口M5
环境温度0 ~ 60℃
安装方向任意
主要材质阀体:PFA/PTFE;膜片:PTFE;活塞杆:SUS303
产品特点与优势
无金属接触的耐腐蚀结构:阀体采用 PFA/PTFE 氟树脂,隔膜为 PTFE,与流体接触的部分不含金属。这能有效防止药液侵蚀金属离子析出,避免污染高纯度化学液体。
零泄漏密封:采用 PTFE 膜片结构,在水压条件下的阀座泄漏量为 0,密封可靠性高,适合危险或昂贵化学液体的输送控制。
抑制颗粒产生:PFA 注塑阀体有助于减少颗粒的产生,满足半导体/液晶湿法工艺对洁净度的严苛要求。
超小型设计:属于 AMDZ 超小型系列,结构紧凑,便于在设备内部狭窄空间或复杂管路中安装。
应用案例与场景
该产品定位为半导体前工序及化学液体供给设备的基础元件:
半导体/液晶湿法工艺:最典型的应用是在涂布机、显影机等设备中,用于光刻胶、显影液、蚀刻液或清洗用纯水的精密供给控制。
有机溶剂输送:该系列可用于使用有机溶剂的涂布机场景。
一般化学液体管路:在需要避免金属污染、要求耐腐蚀密封的精细化工或医药流体控制环节,作为小流量通断控制阀使用。



电话
微信扫一扫