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日本进口CKD喜开理小型流量传感器FSM-V-AH3-R0500-M5
・采用硅微机械加工的铂传感器芯片
・新提出的整流机构实现了
紧凑和高速响应・热式流量传感器，可安装在测量部附近的运动部尖，
可用于检查电子元件作为一个系统的吸附情况和检查泄漏・Rapi Flow（R）
| 型号 | 模拟输出类型 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 项目 | FSM-X-AR005 | FSM-X-AR010型 | FSM-X-AR050型 | FSM-X-AR100 系列 | FSM-X-AF005 | FSM-X-AF010 系列 | FSM-X-AF050 系列 | FSM-X-AF100 系列 | |
| 流量范围 （L/min） （注 1） | -0.5~+0.5 | -1~+1 | -5~+5 | -10~+10 | 0~+0.5 | 0~+1 | 0~+5 | 0~+10 | |
| 使用条款 | 适用流体 （注 2） | 清洁空气 （JIS B 8392-1：2012 （ISO 8573-1：2010） 1.1.1~1.6.2）、氮气 | |||||||
| 最大工作压力 （MPa） | 0.2 | ||||||||
| 最小工作压力 （MPa） | -0.09 | ||||||||
| 耐压 （MPa） | 0.3 | ||||||||
| 环境温度和湿度 （°C） | 0~+50， 80%RH 或更低 | ||||||||
| 工作液温度 （°C） | 0~+50 （无冷凝） | ||||||||
| 储存环境温度 （°C） | -20~+60 （无结露） | ||||||||
| 输出 | 1 个模拟输出（1-5V 电压输出，连接负载阻抗 50 kΩ 或更高）*3 | ||||||||
| 精度 （注 4） | 线性 | 非线性特性 | |||||||
| 压力特性 | 双向型：±5%F.S.以下（-0.09~+0.2MPa、0.1MPa标准）单向型：±10%F.S.以下（-0.09~+0.2MPa、0.1MPa标准） | ||||||||
| 温度特性 | 双向型：±0.3%F.S./°C以下（0~+50°C、25°C基准）单向型：±0.6%F.S./°C以下（0~+50°C、25°C标准） | ||||||||
| 再现性（重复性）（ 注 5） | ±2% F.S. 或更低 | ||||||||
| 响应时间 （注 6） | 5 ms 或更短（10 L/min 为 8 ms 或更短） | ||||||||
| 外部泄漏（注 7） | 1 mL/min 或更低（仅传感器头）、2 mL/min（带流路模块） | ||||||||
| 电流消耗 （注 8） | 30 mA 或更低 | ||||||||
| 电源电压 | DC24V （DC21.6~26.4V） 纹波 1% 以下 | ||||||||
| 电源电压波动 | ±2%F.S. 以下 （21.6~26.4V） | ||||||||
| 引线 | φ2.9 mm 3 芯（φ0.38 mm、绝缘体外径、φ0.8 mm） | ||||||||
| 连接 | 产品端 | SM03B-SRSS-TB （JST），无锁定机构 | |||||||
| 兼容的 连接器 | 住房 | SHR-03V-S （JST） | |||||||
| 连接器引脚 | SSH-003T-P0.2-H （日本标准） | ||||||||
| 安装 | 安装姿势 | 垂直和水平 | |||||||
| 入门级直管 | 必要 | ||||||||
| 抗振性 | 10~150Hz，双振幅 1.5mm，最大 10G，XYZ 方向 2 小时 | ||||||||
| EMC 指令 | EN61000-6-4、EN61000-6-2 | ||||||||
| 重量 （g） | 零 | 约 4 个（不包括电缆） | |||||||
| H04 系列 | 约 17 个（不包括电缆） | ||||||||
| M05 系列 | 约 17 个（不包括电缆） | ||||||||
日本进口CKD喜开理小型流量传感器FSM-V-AH3-R0500-M5
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