江崎供应日本SMC气动真空阀

江崎供应日本SMC气动真空阀XLD-40K-M9

高真空角（L 形）阀，用于防止泵在过载时运行。

[功能]

·初始排气阀和主排气阀一体化（两段式流量控制阀）

・ 实现系统紧凑化和节省

配管・ 排气时防止灰尘在腔室内卷起

・ 初始排气阀流量可调

・ 气动型/带电磁阀

・ 由于排气量少，因此泵容量小，可缩短

排气时间・ 不含Ni（镍）和Cr（铬）等重金属，溅射率低，因此晶圆

上的重金属污染很少・ 强氟

·均匀的烘烤温度。导热性好，全身温度均匀，大大降低产品粘附

性重量轻、结构紧凑

江崎供应日本SMC气动真空阀XLD-40K-M9

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