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用于半导体制造的便携式气体检测仪 带可更换传感器单元的气体
传感器单元可以手动更换,从而允许使用单个单元检测各种气体类型。
小的便携式吸气式气体检测仪,能够检测 NF 3 气体
无需校准气体检测器,减少维护时间和成本
警报声缓慢,呈间歇性声音,随着气体浓度的变化越来越快,当浓度变高时,它会连续响起。
符合 CE 标准
检测半导体工厂中的半导体制造气体泄漏
◆便携式半导体制造气体检测仪 :XP-703DIII 型
◆ 固定式(可更换传感器单元)半导体制造气体检测头PS-7 系列
目标气体 | 半导体气体 |
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传感器类型 | 电化学电池 |
采样方法 | 自动抽吸式 |
检测范围 | 设置为用户规范 |
报警 | [闹钟设置值] 取决于规格 [警报指示] 蜂鸣器声音、警报灯(红色)闪烁和 LCD 显示屏 |
响应时间 | 60 秒内(60% 响应) |
尺寸 | 宽 62×高 150×深 128 毫米(不包括突出部分) |
重量 | 约 1.3 千克 |
工作温度 | 0°C~+40°C |
连续使用时间 | 12 小时或更长时间(使用 NF3 传感器单元时为 8 小时或更长时间) *使用碱性电池时,20°C,无警报。因环境条件、使用条件、储存期限、电池制造商等而异。 |
日本进口COSMOS新宇宙气体检测仪XPS-7II
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